Trotz des größeren Touchscreens ist das Surface Pro 3 mit Magnesiumgehäuse leichter und flacher als sein Vorgänger. Es misst 29,2 mal 20,14 mal 0,91 Zentimeter und wiegt knapp 800 Gramm. Die zweite Generation ist 1,35 Zentimeter dick und wiegt über 900 Gramm.