Neues Elektronenmikroskop erlaubt schnellere Chips

IBM und Nion vermelden eine noch nie da gewesene Auflösung

Wissenschaftler von IBM (Börse Frankfurt: IBM) und Nion haben eine neue Technik vorgestellt, die die Chipproduktion einen Schritt nach vorne bringen soll. Man habe ein Elektronenmikroskop entwickelt, das Auflösungen bis in Atomstrukturen hinein erlaube. Es handle sich um das präziseste Elektronenmikroskop bisher, schildert ein eben in „Nature“ veröffentlichter Forschungsbericht.

Herkömmliche Elektronenmikroskope würden durch minimale Ungenauigkeiten in den Linsensystemen bildverschleiernde Abweichungen erzeugen. Neu entwickelte magnetische Linsen in Kombination mit Computern, die die Verzerrungen rechnerisch korrigieren, ermöglichten aber Elektronenstrahlen mit Durchmessern von nur drei Milliardstel Zoll (Ein Zoll beziehungsweise ein Inch entspricht 2,54 Zentimeter). Das sei weitaus schmaler als ein einzelnes Wasserstoff-Atom.

Das neue Mikroskop soll dabei helfen, in Chipstrukturen Fehler zu erkennen und zu beheben. Dies sei seit 50 Jahren das Hauptproblem der Halbleiterproduktion. Nun sei es möglich, bei der Entwicklung von Computerchips Strukturen in atomarer Größenordnung zu untersuchen. „Wir können nur reparieren, was wir sehen“, erläuterte der Projektleiter Philip Batson vom IBM Thomas J. Watson Research Center. „Da die Dimensionen von Computerchips immer kleiner werden, brauchen auch die Wissenschaftler neue Werkzeuge.“ Außerdem verbessere sich die grundlegende Kenntnis über Materialverhalten bei Halbleitern.

Kontakt: IBM, Tel.: 0511/226290 (günstigsten Tarif anzeigen)

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