Motorola bringt 0,1-Micron-Chip

Durchbruch geschafft?

Der Halbleitersektor von Motorola hat die ersten nur 0,1 Micron großen Halbleiterstrukturen mit einem 0,18-Mikrometer-Standardprozeß realisiert. Dieser Erfolg löse, so Motorola, das vordringliche Problem der Halbleiterhersteller, sogenannte „Subwavelength“-ICs zu entwickeln und zu produzieren. Diese sind integrierte Schaltungen mit Strukturen, die kleiner sind als die Wellenlänge der optischen Lithographiesysteme, mit denen die Designs auf die Silizium-Wafer projiziert werden.
Motorola ist außerdem zeitgleich eine strategische Allianz mit Numerical Technologies (NTI) in Santa Clara, Kalifornien, eingegangen, um „Subwavelength“-ICs weiter zu entwickeln und zu produzieren.
Die Herstellung des 0,1-Mikrometer-Mikroprozessors gelang mit Hilfe der Phasenverschiebungs- und OPC-(Optical-Proximity-Correction)-Technologie von NTI in Verbindung mit Motorolas Produktionsverfahren. Motorola hat die Software von NTI nach eigenen Angaben mittlerweile in seine Entwicklungs- und Produktionsprozesse für Serienprodukte integriert und will sie zur Herstellung weiterer „Subwavelength“-ICs nutzen.
„Durch unsere Allianz mit Numerical Technologies können wir Logikschaltungen mit leistungsfähigen Transistoren, die auf Subwavelength-Gattern basieren, standardmäßig herstellen“, sagte Fabio Pintchovski, Präsident von Motorolas Advanced Products Research and Development Laboratory.
Pintchovski wies darauf hin, daß der neue Herstellungsprozeß eine wesentliche Verbesserung gegenüber dem bisherigen Industriestandard von 0,18 Mikrometer darstellt und die Realisierung kleinerer Chips für Hochleistungsprozessoren wie die PowerPC-Familie möglich mache. „Dies ist der große technische Durchbruch für die Halbleiterindustrie, auf den wir gewartet haben“, sagte Pintchovski.

Kontakt: Motorola, Tel.: 089 /921030

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